초순수 개요 및 생산공정

초순수 개요 및 생산공정

 

1. 초순수(Ultra pure water) 개요

⦁ (정의) 물 속에 포함된 불순물(전해질, 유기물, 미생물, 생균, 미립자, 부유고형물 등)들을 극히 낮은 값으로 억제한 이론순수에 가장 근접한 물

구분	하천수	침전수	저순수	고순도 공업용수
				순수	초순수
적용분야	‧원수	‧범용적 공업용수	‧제품가공용수 ‧음료수 제조	‧반도체부품 세정 ‧주사용 증류수 ‧카메라 렌즈 세정	‧집적회로 제조 ‧반도체 웨이퍼 세척
전기전도도(㎲/㎝)	1000∼100	1000∼100	100∼10	10∼1	0.1∼0.055
유기물(ppm)	15 이상	1~15	1~5	< 0.1	< 0.01

⦁ (용도) 반도체, LCD, 태양광 패널 등 정밀산업 분야 광범위 사용

 

2. 생산공정

⦁ 물속의 유기물, 이온성분, 미생물, 중금속, 용존산소 등 모든 불순물을 제거하기 위해 20~30여개의 다양한 수처리 공정 조합으로 구성